Bestellen Terug

Hoofdkenmerken

Auteur:	Raj, Baldev
Redactie:	Raj, Baldev
Redacteur:	Tiwari, Atul
Titel:	Materials and Failures in MEMS and NEMS
Uitgever:	John Wiley & Sons Inc
ISBN:	9781119083603
ISBN boekversie:	9781119083863
Land van oorsprong:	United States
Prijs:	€ 208.23
Verschijningsdatum:	28-09-2015
Bericht:	Langere levertijd (2-3 weken)

Inhoudelijke kenmerken

Categorie:

Circuits & components

Technische kenmerken

Verschijningsvorm:	Hardback
Paginas:	432
Hoogte mm.:	262
Breedte mm.:	185
Dikte mm.:	28
Gewicht gr.:	934

 

Inhoud:

The fabrication of MEMS has been predominately achieved by etching the polysilicon material. However, new materials are in large demands that could overcome the hurdles in fabrication or manufacturing process.